英國Edwards愛德華EH250機械增壓泵應(yīng)用

半導(dǎo)體制程、真空蒸餾、真空包裝、鋼脫氣、薄膜覆層、真空冶金、低密度風(fēng)洞、空間模擬、真空浸漬、油干燥和脫氣、制藥冷凍干燥、CO2 激光。

英國Edwards愛德華EH250機械增壓泵功能和優(yōu)勢

適用于在0.01至50mbar/0.0075至37.5Torr的壓力范圍下、需要超過 3000 m3h1/1776 ft3min-1 的高抽速的應(yīng)用場合。它可在相對較低的壓力環(huán)境下表現(xiàn)出更高的可靠性。EH泵具有高質(zhì)量的無油泵送機械裝置。