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晶圓盒

晶圓盒

晶圓盒用于在半導(dǎo)體制造操作期間運(yùn)輸和存儲(chǔ)晶圓。 它們也稱(chēng)為晶圓載具,旨在容納或承載多個(gè)相同尺寸的晶圓,并提供多種材料以支持特定應(yīng)用,例如熱處理。

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