序號(hào)

項(xiàng)目

規(guī)格

1

Material 材料

High Purity Monocystalline Al?O? (≥99.996%)

2

Orientation 表面晶向 Cto M

C-plane(0001) off to M-plane (1100) 0.2±0.1°;
0°± 0.1°(A-axis)

3

Orientation 表面晶向 C to A

0.00±0.1°

4

Primary Flat to 主定位邊晶向A-plane（11-20）

A-plane ± 0.2°

5

Diameter 直徑

50.8±0.1mm, 100±0.1mm, 150±0.2mm

6

Thickness 厚度

420~440um, 640-660um，1300mm

7

Flat Length 平邊寬

16±1.0mm, 30±1.0mm, 47.5±1.5mm

8

Edge profile 倒邊

R倒角

9

TTV

≤5um

10

BOW

0~-10um 

11

Warp

≤15um

12

Front Side Roughness 正面粗糙度

＜0.3nm

13

LTV

≤1.8um

14

R向（r-plane）

R9

15

Back Side Roughness 背面粗糙度

0.8-1.2um

16

Laser Mark 激光標(biāo)記

背面打碼/Back side

17

Package 包裝

25 片/盒，25 pcs/cassette