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EPI外延片

EPI外延片

東莞市建盟化學有限公司經(jīng)銷世界知名品牌EPI外延片產(chǎn)品。EPI外延片生長方式，等級，直徑，厚度，表面處理，晶向，晶向偏角，摻雜類型，電阻率，薄膜，加工服務。

產(chǎn)品詳情

直徑

4" 

5" 

6" 

8" 

外延層

摻雜

Boron, Phos, Arsenic

 

晶向

<100>, <111>

 

導電類型

P/P++, N/N++, N/N+, N/N+/N++, N/P/P, P/N/N+

 

電阻率

0.001-50 Ohm-cm

 

電阻率均勻性

Standard <6%, Maximum Capabilities <2%

 

外延層厚度 (um)

0.1-100

 

厚度均勻性

Standard <3%, Maximum Capabilities <1%

襯底

晶向

<100>, <111>

 

導電類型/摻雜元素

P Type/Boron , N Type/Phos,  N Type/As, N Type/Sb

 

厚度 (um)

300-725

 

電阻率

0.001-100 Ohm-cm

 

表面狀態(tài)

P/P, P/E

 

顆粒度

<30@.0.5um


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