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離子注入設(shè)備應(yīng)用

東莞市建盟化學(xué)有限公司提供世界知名品牌半導(dǎo)體晶圓制造離子注入設(shè)備應(yīng)用技術(shù)工藝。離子注入設(shè)備應(yīng)用包括離子注入機(jī)是集成電路制造前工序中的關(guān)鍵設(shè)備,離子注入是對半導(dǎo)體表面附近區(qū)域進(jìn)行摻雜的技術(shù),其目的是改變半導(dǎo)體的載流子濃度和導(dǎo)電類型。離子注入與常規(guī)熱摻雜工藝相比可對注入劑量、注入角度、注入深度、橫向擴(kuò)散等方面進(jìn)行精確的控制,克服了常規(guī)工藝的限制,提高了電路的集成度、開啟速度、成品率和壽命,降低了成本和功耗。離子注入機(jī)廣泛用于摻雜工藝,可以滿足淺結(jié)、低溫和精確控制等要求,已成為集成電路制造工藝中必不可少的關(guān)鍵裝備。

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