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離子注入氣應(yīng)用

東莞市建盟化學(xué)有限公司推廣世界知名品牌離子注入氣應(yīng)用工藝知識(shí)。離子注入氣應(yīng)用包括氣體工業(yè)名詞,離子注入是把離子化的雜質(zhì),例如P+,B+,A+s加速到高能量狀態(tài),然后注入到預(yù)定的襯底上。離子注入技術(shù)在控制Vth(閾值電壓)方面應(yīng)用得最為廣泛。注入的雜質(zhì)量可通過測量離子束電流而求得。離子注入工藝所用氣體稱離子注入氣,有磷系,硼系和砷系氣體。

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